根據(jù)《建設項目竣工環(huán)境保護驗收暫行辦法》等有關規(guī)定，對蘇州惟清半導體有限公司第三代半導體高端光電器件晶圓生產(chǎn)及功率器件晶圓研發(fā)項目（第一階段）竣工日期及調(diào)試起止日期進行信息公示，使項目建設可能影響區(qū)域環(huán)境內(nèi)的公眾對項目建設情況有所了解，并通過公示了解社會公眾對本項目的態(tài)度和建議，接受社會公眾的監(jiān)督。

一、 建設項目情況簡述

蘇州惟清半導體有限公司于2023年9月28日成立，由功率芯片設計領軍企業(yè)清純半導體有限公司與化合物半導體光電芯片龍頭企業(yè)長光華芯共同出資成立，專注于第三代半導體功率芯片研發(fā)生產(chǎn)制造，項目總投資額50億元，一期項目投資5億元，于蘇州高新區(qū)科技城工業(yè)坊A區(qū)2號樓101、102、203建設“第三代半導體高端光電器件晶圓生產(chǎn)及功率器件晶圓研發(fā)項目”，年產(chǎn)硅基氮化鎵光電器件晶圓5萬片、年研發(fā)碳化硅基氮化鎵功率器件晶圓2400片。

本項目光電器件晶圓、功率器件晶圓定位為高端產(chǎn)品，用于特定的光電器件及功率器件，這些器件在新能源汽車、消費電子、通訊、醫(yī)療和科研等領域有著廣泛的應用，因此本項目晶圓尺寸定位在2-3寸，更適合定制化需求，能夠提供更靈活的設計和更高的定制化程度。

2023年12月25日，本項目已取得蘇州高新區(qū)(虎丘區(qū))行政審批局審批的《江蘇省投資項目備案證》（備案證號：蘇高新項備[2023]585號）。

本項目環(huán)評審批過程：2024年12月，企業(yè)委托蘇州市宏宇環(huán)境科技股份有限公司編制了《蘇州惟清半導體有限公司第三代半導體高端光電器件晶圓生產(chǎn)及功率器件晶圓研發(fā)項目環(huán)境影響報告表》，并2025年1月24日取得蘇州高新區(qū)管委會的環(huán)評批復（審批文號：蘇高新管環(huán)審[2025]016號）。

驗收工作的開展：2025年9月，蘇州惟清半導體有限公司對其建成運行“蘇州惟清半導體有限公司第三代半導體高端光電器件晶圓生產(chǎn)及功率器件晶圓研發(fā)項目”進行自主驗收工作，本項目開工時間2025年2月，竣工及調(diào)試時間2025年10月31日。

二、 建設單位調(diào)試時產(chǎn)生的污染物及措施簡述

（一）廢水

本項目生產(chǎn)廢水主要來自柵氧前清洗、金屬化前清洗、金屬腐蝕、其他腐蝕、去膠、減薄、背面刻蝕&清洗、背金開槽、刀輪劃片、劃片清洗、備件/設備/控片清洗工序、研磨工序、冷卻塔及純水制備，上述清洗廢水分質(zhì)收集，分質(zhì)處理，有機廢水經(jīng)“AO+二沉池”裝置處理后進入“酸堿中和”裝置；研磨廢水經(jīng)混凝沉淀裝置處理后進入“酸堿中和”裝置；含氮、含氟廢水經(jīng)“含氟一級反應池+二級反應池+除氟樹脂”+“錳砂過濾+一級吹脫+二級吹脫”裝置處理后進入“酸堿中和”裝置，一般酸洗廢水直接進入“酸堿中和”裝置，清洗廢水中純水清洗工序中50%后道清洗水經(jīng)中水回用裝置處理后回用，其余50%純水清洗廢水進入“酸堿中和”裝置，上述處理后的清洗廢水與冷卻塔強制排水及制純濃水一起經(jīng)生產(chǎn)廢水排放口DW005排放。

生產(chǎn)廢水與生活污水混合后再經(jīng)租賃廠區(qū)總排放口DW001接管至市政污水管網(wǎng)，最終由科技城水質(zhì)凈化廠集中處理達標后排入滸光運河。

（二）廢氣

本項目廢氣主要為酸性廢氣、堿洗廢氣及有機廢氣，有機廢氣經(jīng)密閉空間負壓收集后再經(jīng)二級活性炭吸附裝處理后經(jīng)25m高DA001排氣筒排放；堿性廢氣經(jīng)密閉空間負壓收集后再經(jīng)酸液噴淋塔處理后經(jīng)25m高DA002排氣筒排放；CVD、氧化、干法刻蝕工序產(chǎn)生的酸性廢氣經(jīng)設備自帶尾氣處理設施處理后（其中熱氧氣廢氣經(jīng)“電熱水洗裝置”處理，CVD廢氣與干法刻蝕廢氣經(jīng)“等離子體點火燃燒水洗裝置”處理，離子注入廢氣經(jīng)“化學干式吸附”處理）再與經(jīng)密閉空間負壓收集的其他酸性廢氣一起接入堿液噴淋塔，經(jīng)處理后經(jīng)25m高DA003、DA004、DA005排放（兩兩組合排放）。

（三）噪聲

本項目噪聲源主要為風機、全自動減薄機等生產(chǎn)設備運行時產(chǎn)生的噪聲，通過合理布局、日常維護和保養(yǎng)、防震、隔聲等措施后，項目噪聲排放符合相應排放限值要求。

（四）固體廢棄物

本項目不合格品、純水制備濾材、廢靶材由供應商回收利用；一般廢包裝、生活垃圾委托蘇州康華城市垃圾清運有限公司處理；有機污泥、含氟污泥委托蘇州惠新普環(huán)保科技有限公司處理；廢酸液、廢堿液、硫酸銨廢液、廢汞燈委托中新和順環(huán)保（江蘇）有限公司處置；廢濾芯、廢去光膠劑、廢顯影液、廢光刻膠、無塵布、危險廢包裝、廢砂、設備自帶廢氣處理廢液、廢活性炭、除氟廢樹脂、異丙醇廢液、乙二醇廢液、丙酮廢液委托中新蘇伊士環(huán)保技術（蘇州）有限公司處置，實現(xiàn)固廢零排放，不會造成二次污染問題。

三、竣工日期及調(diào)試起止日期

1、竣工日期：2025年10月31日；

2、調(diào)試起止日期：2025年10月31日—2026年1月29日。

四、征求公眾意見的范圍：

關注本項目建設項目和周邊環(huán)境影響區(qū)域內(nèi)居民、單位等公眾。

五、公眾反饋方式：

公眾可采取向公示指定地址發(fā)送信函、電子郵電等方式，發(fā)表對該工程竣工的意見和看法，發(fā)表意見的同時請?zhí)峁┰敿毜穆?lián)系方式，建設單位將聽取公眾的意見對建設項目進行整改。

六、建設單位名稱及聯(lián)系方式：

建設單位名稱：蘇州惟清半導體有限公司

通訊地址：蘇州高新區(qū)科技城工業(yè)坊A區(qū)2號樓101、102、203

聯(lián)系人：陳工

電話：0512-68651286

郵箱：zqc@sichainsemi.com